Pulsar-UKP-Anlage
Förderkennzeichen: 2015 WIN 0008
Ultrakurzpuls-Laser Pulsar RDX1000fbs
Lasermaterialbearbeitungsmaschine mit Strahlformungssystem, drei motorisierten Achsen, Festoptik, Galvoscanner, Topografiemessung, Absaugung und Prozessgassystem. Einsatzzweck ist hautpsächlich die Untersuchung von Laser-Material-Wechselwirkungen und Prozessstrategien.
- Durchschnittsleistung bis 100 W
- Pulswiederholrate: Einzelpuls bis 40 MHz
- Pulsenergie bis 500 µJ
- Wellenlänge 1.030 nm und 515 nm
- Pulslänge 900 fs verstellbar bis 15 ps
- FlexibleBeamShaper G2: dynamisches Strahlformungssystem, einsetzbar für 1.064 nm bis 100 W mittlere Leistung
- Achsgenauigkeit: ±5 µm
- Topografiegenauigkeit: axial: 20 nm, lateral 3 µm
- Weißlichtinterferometer zur Inline-Topografiemessung, Auflösung: axial: 20 nm, lateral 3 µm
- Mikro-Scanobjektiv, Fokusdurchmesser 3 µm, Scanfeld = 500 µm x 500 µm