3D-Micromac-UKP-Anlage
Mikromaterialbearbeitungsanlage microSTRUCT vario mit Ultrakurzpulslasern Hyper Rapid 25 und Pharos-15W
Lasermaterialbearbeitungsanlage mit ps-Laser, fs-Laser, 4-fach-Achssystem mit Goniometer- oder Drehachse, Trepanierbohrkopf, Galvoscanner, z-Taster, Absaugung, Prozessgaszuführung.
- fs-Laser bis 15 W mittlere Leistung, ps-Laser bis 25 W
- Je drei Wellenlängen von 1.064 bis 343 nm verfügbar
- Galvoscanner und Trepanierbohrkopf sind mit verschiedenen Wellenlängen nutzbar
- Pulswiederholraten bis 1 MHz; Pulsenergien bis 240 µJ
- Pulslänge 220 fs bzw. 9 ps
- Achsgenauigkeit: ±1 µm
- Drehachse bis 600 U/min