3D-Micromac-UKP-Anlage

Mikromaterialbearbeitungsanlage microSTRUCT vario mit Ultrakurzpulslasern Hyper Rapid 25 und Pharos-15W

Lasermaterialbearbeitungsanlage mit ps-Laser, fs-Laser, 4-fach-Achssystem mit Goniometer- oder Drehachse, Trepanierbohrkopf, Galvoscanner, z-Taster, Absaugung, Prozessgaszuführung.
  • fs-Laser bis 15 W mittlere Leistung, ps-Laser bis 25 W
  • Je drei Wellenlängen von  1.064 bis 343 nm verfügbar
  • Galvoscanner und Trepanierbohrkopf sind mit verschiedenen Wellenlängen nutzbar
  • Pulswiederholraten bis 1 MHz; Pulsenergien bis 240 µJ
  • Pulslänge 220 fs bzw. 9 ps
  • Achsgenauigkeit: ±1 µm
  • Drehachse bis 600 U/min